Die Auswahl geeigneter Verbrauchsmaterialien für die Realisierung reinheitskritischer Fertigungsprozesse ist jedoch schwierig, da häufig Produkte am Markt angeboten werden, deren Reinheitsqualität allein mit den Klassen der Luftreinheit nach ISO 14644-1 beschrieben wird. Solche Qualitätsangaben sind unzureichend und falsch, da Verbrauchsmaterialien keine Reinräume sind und somit auch keine Luftreinheitsklasse aufweisen können. Die während der Benutzung von Verbrauchsmaterialien entstehenden partikulären Kontaminationen sind offenkundig eines der wichtigsten Kriterien zur Einschätzung ihrer Reinheitstauglichkeit, die bei definierter, praxisnaher Belastung auch messtechnisch reproduzierbar nachgewiesen werden können. Als Ergebnis kann im Vergleich mit den Grenzwerten der Luftreinheitsklassen und statistischer Bewertung jedoch eine Eignung für spezifische Luftreinheitsklassen festgestellt werden, indem die Grenzwerte mit ausreichender Sicherheit nicht überschritten werden.
Neben den partikulären Emissionen sind je nach Anwendung des Verbrauchsmittels auch andere Kriterien zu betrachten:
Gemeinsam beschreiben alle relevanten Kriterien die Tauglichkeit eines Verbrauchsmittels für spezifische reine Produktionsprozesse. Eine Gewichtung kann abgesehen von gesetzlichen Regelungen nur vom Anwender erfolgen, da die Vielfalt der prozessspezifischen Anforderungen sehr groß ist. Es sei angemerkt, dass Verbrauchsmaterialien sehr häufig im direkten Umfeld des menschlichen Operators zur Anwendung .